納米位移臺(tái) (Nanopositioning Stages) 的非線性誤差 (Non-linearity Error) 主要來(lái)源于驅(qū)動(dòng)器（如壓電材料）的電壓-位移關(guān)系的非線性、機(jī)械結(jié)構(gòu)的彈性變形以及傳感器的測(cè)量誤差等。這種非線性誤差會(huì)影響位置精度，特別是在高精度應(yīng)用中須進(jìn)行補(bǔ)償。下面詳細(xì)介紹幾種常用的非線性誤差補(bǔ)償方法。 1. 閉環(huán)控制系統(tǒng) (Closed-...

納米位移臺(tái)的反向路徑誤差（Backlash Error，或稱回程誤差）是指在運(yùn)動(dòng)方向切換時(shí)，由于機(jī)械間隙、彈性變形或摩擦等因素，導(dǎo)致實(shí)際位置與目標(biāo)位置之間的偏差。這種誤差對(duì)高精度定位要求的場(chǎng)景影響顯著，特別是往返運(yùn)動(dòng)中。 下面詳細(xì)介紹幾種反向路徑誤差校準(zhǔn)方法，包括硬件和軟件層面的策略。 硬件層面的校準(zhǔn)方法 采用預(yù)...

納米位移臺(tái)的摩擦效應(yīng)會(huì)導(dǎo)致運(yùn)動(dòng)滯后、爬行（stick-slip）、精度下降等問(wèn)題，特別是在低速或小步進(jìn)操作時(shí)更加明顯。常見(jiàn)的摩擦補(bǔ)償方法可以分為硬件層面和軟件層面的技術(shù)手段，下面詳細(xì)介紹幾種常用的摩擦補(bǔ)償方法： 硬件層面的摩擦補(bǔ)償方法 采用無(wú)摩擦驅(qū)動(dòng)方式（如壓電驅(qū)動(dòng)和磁懸浮驅(qū)動(dòng)）特點(diǎn)：壓電驅(qū)動(dòng)（Piezo Actuato...

納米位移臺(tái)的側(cè)向誤差 是指 在位移過(guò)程中，除了預(yù)定的縱向移動(dòng)外，還伴隨有水平或垂直方向的誤差，這可能影響納米位移臺(tái)的定位精度。側(cè)向誤差常見(jiàn)于 壓電驅(qū)動(dòng)、電磁驅(qū)動(dòng)和螺桿驅(qū)動(dòng) 的納米位移臺(tái)，尤其是在操作時(shí)。以下是一些消除側(cè)向誤差的方法： 側(cè)向誤差的原因： 機(jī)械設(shè)計(jì)缺陷：支撐結(jié)構(gòu)不對(duì)稱或剛性不足，導(dǎo)致在單軸...

選擇納米位移臺(tái)驅(qū)動(dòng)方式 時(shí)，載荷特性（如 重量、慣性、剛性、精度要求、速度要求 等）起著關(guān)鍵作用。常見(jiàn)的驅(qū)動(dòng)方式有 壓電驅(qū)動(dòng)、電磁驅(qū)動(dòng)、音圈驅(qū)動(dòng)、螺桿驅(qū)動(dòng) 等。以下是根據(jù)不同載荷特性選擇驅(qū)動(dòng)方式的詳細(xì)指南: 1. 根據(jù)載荷重量選擇驅(qū)動(dòng)方式 (1) 輕載 (< 100 g) 驅(qū)動(dòng): 壓電驅(qū)動(dòng) (Piezoelectric Drive) 原因:具有...

避免納米位移臺(tái)的機(jī)械共振現(xiàn)象，對(duì)于提高其精度和穩(wěn)定性至關(guān)重要。共振會(huì)導(dǎo)致位置誤差、振蕩和控制失穩(wěn)，尤其在高頻操作時(shí)更加明顯。以下是一些有效的策略與方法，幫助減少或避免機(jī)械共振問(wèn)題： 1. 調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)頻率（避開(kāi)共振頻率） 原理： 每個(gè)納米位移臺(tái)都有固有的共振頻率（自然頻率）。 驅(qū)動(dòng)頻率接近共振頻率時(shí)，容易引...